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数字全息干涉仪

内容介绍

数字全息干涉仪是在本实验室长期从事数字全息术研究的基础上,开发出来的可脱离实验室应用的干涉测量仪器。根据被测物场的尺寸,分为缩微和显微数字全息干涉仪。缩微数字全息干涉仪主要应用于大口径物场的透射式测量,可实现对气(液)流场、扩散过程等的现场可视化表征;显微数字全息干涉仪主要应用于生物组织、微系统和微加工过程等的检验检测,其轴向测量精度可达纳米量级,实现样品的动态、全场、实时、非接触、三维测量,获得样品的三维信息。

性能指标、特点、适用范围:

类型

缩微数字全息

干涉仪

显微数字全息干涉仪

透射式

反射式

放大倍数

0.125~1X

10~50X

1~10X

横向分辨率

0.3mm

4~0.5 mm

轴向分辨率

50nm

50nm

75nm

重复测量精度

10nm

10nm

10nm

CCD像素

1600×1200

4.4×4.4μm2

2592×1944 4.4×4.4μm2

1280×9603.75×3.75μm2

特点

笼式结构、性能稳定、操控方便

结构紧凑、小巧方便、价格低廉

适用范围

气(液)流场、扩散过程等测量

活体生物细胞、微透镜阵列、微流场、温度场测量等

MEMS器件表面结构、材料表面形变与内部缺陷分析,表面粗糙度测量等

应用推广情况:

基于所研制的数字全息干涉仪和成熟的后续处理软件,本实验室同多家科研院所进行了有益的横向合作研究,主要有:

(1) 航天四院四十三所:C/C复合材料泊松比测量;

(2) 中航工业613研究所:头盔全息波导眼镜光学参数测量;

(3) 中国空间技术研究院西安分院:电路板微形变测量;

(4) 新加坡南洋理工大学:微透镜阵列、微结构器件、粒子场、红血球细胞和玻璃板缺陷测量;

(5) 西北工业大学机电学院:MEMS器件测量;

(6) 绵阳九院八所:玻璃板表面微坑测量。

该技术获发明专利6项。

合作方式:

技术入股合作成立企业经营

友情链接:
西安西北工业大学资产经营管理有限公司
地址:陕西省西安市友谊西路127号 邮编:710072